AST聚昌科技 PEVA系列高階精密電子束蒸鍍系統乃是針對Power IC ( Ti /Ni/Ag )、LED (Cr/Pt/Au ) 及MEMS等之金屬電極、透明導電膜(ITO)與光學膜( SiO2/TiO2)所設計的批式量產設備，擁有獨特的蒸鍍反應室設計，可以提供更高的產能，與更為精準、更可靠的製程需求。 AST聚昌科技Peva-900E/I系統的特點包括 (1) 最佳化鍍鍋與坩鍋設計因應 Lift-Off 與低溫製程需求 (2) Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±3%，以確保整體產品良率 (3) 最佳化蒸鍍腔及排氣系統設計，可有效降低Cycle time，並提昇材料利用率（提高20%） (4) 高通用與拆換便利性設計(可提昇至200mm大尺寸、次微米、Lift-Off 製程能力)，製程應用不受限 (5) 特殊設計的夾治具，針對薄片製程（<100微米），可靠度極佳 (6) 最精簡地板空間，可有效提高無塵室使用空間 (7) 全自動化、智慧型PC操控系統，提高全廠自動化之需求。